硅微悬臂梁相关论文
本文针对微机械三维几何尺寸测量问题,提出了基于CCD光电测量技术的图像测量方法,并结合硅微悬臂梁深度和平面尺寸进行了实验研究.......
We present a new method for detecting near-infrared, mid-infrared, and far-infrared photons with an ultrahigh sensitivit......
随着MEMS及纳米科技的进步,悬臂梁探针在扫描探针显微镜、隧道传感器、微纳米加工、高密度数据存储中的应用越来越多,微纳米针尖的......
研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型。并利用......
本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器,它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种......
简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵;介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计......