镀膜优化相关硕士博士期刊学术论文

研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术，建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型。并利用......