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硅微机械谐振相关论文
硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究
文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空......
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