在电容式耦合等离子体化学气相沉积系统中，用高氢稀释硅烷和氮气为反应气氛制备纳米硅氮（ｎｃ－ＳｉＮｘ２Ｈ）薄膜，结果表明，当Ｎ２／ＳｉＨ４气体流量比（Ｘｎ）从Ｉ增加为４时，薄膜的......

采用四靶直流非平衡磁控溅射技术在Co–28Cr–6Mo合金表面沉积了硅氮（SiN）薄膜。借助接触角仪、纳米压痕仪以及摩擦磨损试验机考察了......

采用非平衡磁控溅射沉积技术,在钴合金表面制备了一系列硅氮薄膜。借助接触角、原子力显微镜考察了离子轰击能量对硅氮薄膜表面形......