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在电容式耦合等离子体化学气相沉积系统中,用高氢稀释硅烷和氮气为反应气氛制备纳米硅氮(nc-SiNx2H)薄膜,结果表明,当N2/SiH4气体流量比(Xn)从I增加为4时,薄膜的......
在等离子体化学气相沉积系统中采用高氢稀释硅烷加乙烯法制备了nc-SiCx:H薄膜。系统研究了C2H4/(C2H4+SiH4)(Xc)气体流量比对nc-SiCx:H薄膜的晶化和其它不龟性能的影响。......
采用可与Si平面工艺兼容的特殊设计的化学气相沉积系统在玻璃衬底上制备了大面积的纳米Si薄膜.高分辨率电子显微镜和选区电子衍射......