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硅磁敏三极管负阻特性相关论文
采用MEMS技术制作硅磁敏三极管研究
本课题主要研究采用MEMS技术在硅片上制作矩形板状立体结构硅磁敏三极管,并对制作的硅磁敏三极管样品基本特性进行实验研究。 实......
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MEMS技术
硅磁敏三极管
硅各向异性腐蚀技术
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