硼碳氮薄膜相关论文
本文采用射频溅射技术,在硅和石墨衬底上制备出六方BCN薄膜,并应用IR、XRD、XPS手段系统地研究了沉积参数对BCN膜生长及结构的影响......
硼碳氮(BCN)材料因其优异的物理化学特性而得到广泛关注。理论与实验表明,BCN三元化合物的性质与其成分和结构都有关联。特别是,当......
本文用六方氮化硼和石墨靶材采用射频(频率为13.56 MHz)磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜,得到的硼碳氮薄膜可用红外,拉曼表征。工作气压......
硼碳氮(B-C-N)三元化合物兼具立方氮化硼与金刚石的优良特性,作为一类超硬结构材料,在防护涂层、切削工具等工程领域具有广泛而重......
本论文的主要工作是采用射频磁控溅射制备硼碳氮(BCN)薄膜,研究了各实验参数对硼碳氮薄膜的生长行为和结构的影响,对硼碳氮薄膜制......
该论文主要介绍一种薄膜制备的新方法--电子回旋共振等离子体辅助脉冲激光沉积(electron cyclotron resonance plasma assisted pu......
本文以脉冲激光烧蚀(PulsedLaserAblation，PLA)等离子体为主要研究对象，通过对PLA等离子体光谱的测量分析，考察PLA等离子体的时空演变......
采用射频磁控溅射技术制备出硼碳氮（BCN）薄膜。傅里叶红外吸收光谱（FTIR）测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合，扫描电子显微镜（S......
本文用六方氮化硼和石墨靶材采用射频（频率为13．56MHz）磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜，得到的硼碳氮薄膜可用红外，拉曼表征。工作气压从0．2Pa......
利用射频磁控溅射方法以不同的溅射功率（80～130W）制备出具备紫外增透性能的BCN，BC2N和BGN薄膜。傅里叶红外吸收光谱和X射线光电子能谱......
利用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）在玻璃衬底上制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱测量发现样品的组成原子......
采用射频磁控溅射技术，用六角氮化硼和石墨为溅射靶，以氩气（Ar）和氮气（N2）为工作气体，在Si（100）衬底上制备出硼碳氮（BCN）薄膜。利用傅里叶变换......
用电子束蒸发的方法在单晶硅（100）基片上制备了硼碳氮薄膜，通过椭圆偏振仪、X射线衍射仪（XRD）、X光电子能谱仪（XPS）、傅立叶红外光谱仪（FTI......
利用射频磁控溅射方法以不同的射频功率（80～130W）在硅衬底上制备出一组硼碳氮（BCN）薄膜．傅里叶红外吸收光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测......
采用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测量发现样......
采用脉冲激光沉积技术,在Si（100）和石英基片上制备了硼碳氮薄膜（BCN）。利用X射线衍射（XRD）,傅里叶变换红外光谱（FTIR）、X射线光电子能谱（XPS......
以烧结B4C为靶材料、在氮离子束辅助下用脉冲激光沉积方法制备了三元化合物硼碳氮（BCN）薄膜.用X光电子谱和傅立叶变换红外谱方法表征......
硼碳氮(BCN)是一种新型的人工合成功能材料，它具有一系列优异的物理化学特性，有着极其广泛的应用前景。近几年来，硼碳氮薄膜的制备和......
采用射频磁控溅射和射频反应性磁控溅射两种方法制备了硼碳氮薄膜。利用X-射线光电子能谱、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、拉曼光谱、......
采用射频磁控溅射技术，用六角氮化硼和石墨为溅射靶，以氩气（Ar）和氮气（N2）为工作气体，在Si（100）衬底上制备出硼碳氮薄膜。通过X射线衍射（XRD）......
采用射频磁控溅射技术，用六角氮化硼和石墨为溅射靶，以氩气（Ar）和氮气（N2）为工作气体，在玻璃衬底上制备出硼碳氮（BCN）薄膜。通过改变氮气分......
采用等离子体源离子渗氮，即低能，超大剂量氮离子注入－同步热扩散技术，在３００－５００℃处理碳化硼薄膜，合成了硼碳酸三元薄膜。俄歇电子能谱和漫反射......
采用Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析３００～５００℃等离子体源离子渗氮硼和碳化硼薄膜合成的氮化硼和硼碳氮薄膜。利用合成薄膜成分可控的特点，研究Ｂ、Ｃ、Ｎ对薄膜......
