本文分析了低气压射频电容耦合等离子体鞘层中由离子和中性粒子碰撞反应产生的二次离子的动力学行为,发现(1)二次离子轰击极板的能......

从实验结果出发讨论了从Ｈ＋到Ｈ＋９等Ｈ＋ｎ离了的形成和分解反应。Ｈ＋和Ｈ＋２是Ｈ和Ｈ２电离产生的，而Ｎ≥３的Ｈ＋ｎ离子是由Ｈ＋３（Ｈ＋２）与Ｈ或Ｈ２的离子分子反应产生的。......