电容耦合等离子体相关论文
本文分析了低气压射频电容耦合等离子体鞘层中由离子和中性粒子碰撞反应产生的二次离子的动力学行为,发现(1)二次离子轰击极板的能......
设计了一种测量电容耦合等离子体电子密度时间演化的YAG激光汤姆孙散射系统.电容耦合等离子体是在真空条件下由300 W射频电源供电......
在大规模集成电路的生产线上,半导体制造设备中的工艺腔室是最为关键的核心部件。此类半导体设备的关键核心技术往往集中在工艺腔室......
使用两种频率组合(60 MHz/2 MHz,41 MHz/13.56 MHz)激发产生容性耦合等离子体,通过改变源气体流量比、射频源功率、自偏压等条件进行......
电容耦合等离子体广泛应用于对材料表面进行刻蚀和沉积,特别是在大规模集成电路制造中。材料表面的离子能量分布是影响工艺结果的......
本文包括两个部分的内容。第一部分主要讨论电磁波在大气等离子体中的传播。结合隐式差分格式和辛普森积分算法数值求解电磁波在一......