碳氢膜相关论文
在微波ECR设备中，利用能量分析器进行了对非晶碳氢膜刻蚀过程中离子能量的测量，对比根据在线椭偏仪所测的刻蚀率，我们得到离子能量分......
利用射频等离子体化学气象沉积法(r.f.PECVD),在12μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜. 用原子力显微镜(AFM),x射线......
在材料科学领域中,关于非晶碳氢膜的研究,三十年来国内外一直处于活跃时期,非晶碳氢(a-CH)膜系类金刚石结构,有着许多特殊性能,电......
采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积系统,,以甲烷和氩气作为工作气体在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)片和玻璃片基上沉积了非晶碳......
