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碳膜覆盖相关论文
碳膜对于Al+注入4H-SiC (0001)高温退火效果的研究
经Al+注入的4H-SiC(0001)晶片需要采用高温退火来消除晶格损伤以及激活离子,为了保护高温退火过程中的4H-SiC表面、抑制其粗糙度的......
会议
碳化硅晶片
铝离子注入
高温退火
碳膜覆盖
粗糙度
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