经Al+注入的4H-SiC(0001)晶片需要采用高温退火来消除晶格损伤以及激活离子,为了保护高温退火过程中的4H-SiC表面、抑制其粗糙度的......

成分接近等原子比的钛镍合金具有优良的形状记忆特性和超弹性,而且耐环境腐蚀性也很优越,但是在海洋、生体以及化学装置上使用时往......

本文采用中频孪生非平衡磁控溅射设备制备非晶ZnO薄膜,再以不同剂量的铝离子注入法制备氧化锌铝薄膜。并采用X射线、扫描电镜、四......

首次报道了用不同浓度的Al离子注入于蓝宝石衬底上的GaN薄膜(注入能量为500keV、注入浓度为1014～1015 cm-2), 在做了不同温度和不同......

标本与铝离子被植入， fluence 从 1 × 1 016 ～ 1 × 1 在 40 kV 的抽取电压由金属蒸汽真空弧来源(MEVVA ) 在 zircaloy-2 ......

用金属真空阴极弧(MEVVA)离子源对SiC-C/SiC复合材料进行Al离子注入来改善其抗氧化性能。通过俄歇电子能谱和扫描电镜分别对复合材......