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随着光学技术的发展,具有超光滑表面的平面光学元件应用越来越广,传统抛光技术大多存在效率低,加工质量难以控制,难以满足大批量、......
提出一种具有直线气隙的永磁轭励磁方法以形成大面积磁流变硬化区,从而实现超光滑表面的高效磁流变平整加工。为进一步提高加工效......
为改善平整度,提出在磁流变平整加工中加入平动。建立工件在磁流变硬化研抛工具上的运动轨迹方程,以该轨迹方程为基础建立了材料去......