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针对空间光学载荷光学反射镜组件离子束加工时产生的能量传输及累积效应对组件胶粘层的物理性能产生的不利影响,文章根据离子源的......
AlN是一种性能优异的压电、介电材料，具有纤锌矿结构，属于Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料。氮化铝具有高硬度，高抗击穿场强(14MV/cm)、高热......
直流自我偏压作为高密度射频（RF）等离子体刻蚀工艺中的重要电学参数,反映出具有高能量的离子对待刻蚀晶片的轰击效果,后者决定了刻蚀......
为了给小型医用回旋加速器提供负氢离子,研制了一台Penning型负氢离子源。采用发射光谱法对该负氢离子源进行了诊断,同时结合离子......
目的 研究离子源功率对a-C：H（Al）薄膜结构及性能的影响。方法 采用阳极离子源离化CH_4气体,中频磁控溅射Al靶,通过改变离子源功率,在n......
AlN的高热导率特性使得它成为理想的散热材料之一，此外，AlN还具有高击穿场强、高禁带宽度、高化学和热稳定性、良好的光学和力学性能......
