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空心针尖相关论文

用于微等离子体无掩膜刻蚀的微悬臂梁探针的设计和加工

设计了一种用于微等离子体无掩膜刻蚀加工的微悬臂梁探针结构,即将微等离子体放电器集成在SiO2悬臂梁探针端部的空心针尖上,等离子......

期刊

微等离子体微悬臂梁空心针尖无掩膜刻蚀 microplasma microcantilever hollow tip maskless etching

微等离子体扫描加工系统中核心器件的关键工艺技术研究

在微纳米加工技术中,微等离子体不但继承了宏观等离子体刻蚀速率高,方向性好,可刻蚀材料广泛,材料选择性突出等优良特性,还可实现......

学位

微等离子体扫描加工纳米孔空心针尖悬臂梁

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