等离子体干法刻蚀相关论文
波分复用(WDM)技术是光纤通信技术重要的技术革新,是推进光纤通信网络继续蓬勃发展的主要技术动力。半导体激光器是光纤通信网络中......
2014年1-12月中国大陆13种主要半导体设备进口14647台、43.66亿美元。制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装置、等离子体干法......
基于金刚石与类金刚石优异的性能,将其场发射体制备成纳米线阵列的形式,其纳米级发射尖端和高径比极大地增强其场致电子发射的能力,可......