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用电子回旋共振等离子体强化和未经强化电源磁控溅射沉积氮化碳薄膜的性能
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等离子体强化CVD技术用于硅的低温生长
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低温生长
采用等离子体气化工艺从含氯废物中回收氯并产合成气
美国Dow Coming公司的硅制品制造厂将采用一套等离子体废物处理工艺,用于循环利用化学废物,以帮助该厂减少每年4×10^11 Btu(合4.2......
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