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等离子体蚀刻气体相关论文
氮中四氟化碳气体标准物质的研制
本文的主要工作是研制氮中四氟化碳标准气体,填补我国在这一领域的空白,并探索应用电子天平配制标准气体的新方法。 四氟化碳是......
学位
四氟化碳
称量法
标准气体
电子天平
等离子体蚀刻气体
薄膜材料
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