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随着MEMS技术和产业的不断发展,对其封装设备提出了更高的精度和生产率要求.因此有必要基于新的驱动方式和机构形式采用现代设计理......
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设计了一种用柔性铰链作为弹性导轨，压电双晶片作为驱动器，结合三角型放大原理实现的精密定位机构，并采用精密电感式微位移传感器（LVDT......
