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随着MEMS技术和产业的不断发展,对其封装设备提出了更高的精度和生产率要求.因此有必要基于新的驱动方式和机构形式采用现代设计理......
对于微纳米级定位机构而言,机构间由于摩擦力导致的黏滞现象严重影响着机构的驱动效率和定位精度。合理描述机构接触面微观形貌是......
柔顺精密定位平台在精密加工、半导体制造业和生物医学工程等领域得到广泛应用,构成平台主体的柔顺机构在重复运动过程中承受交变......
设计了一种用柔性铰链作为弹性导轨,压电双晶片作为驱动器,结合三角型放大原理实现的精密定位机构,并采用精密电感式微位移传感器(LVDT......