红外吸收谱分析表明，聚硅烷在氧等离子体外理后转变成ＰＳｉＯｘ中的ｘ在１．５－２之间，其高频Ｃ－Ｖ特性曲线的平带电压为正，大小与氧等离子处理条件和ＰＭＰＥＳ厚度有关。......