聚硅烷(紫外光敏材料)的氧等离子体处理特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangjh9246
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红外吸收谱分析表明,聚硅烷在氧等离子体外理后转变成PSiOx中的x在1.5-2之间,其高频C-V特性曲线的平带电压为正,大小与氧等离子处理条件和PMPES厚度有关。
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