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针对Si,GaAs半导体晶片中金属杂质玷污的问题,本文提出了紫外光致荧光谱的检测方法。常温下,晶片中的Fe,Ni杂质玷污可产生紫外特征......
本文用紫外光致荧光法无损检测孙同工艺参数制备SIMOX材料正面和背面的铁杂质沾污程度,得出了这些样品铁杂质浓度的相对大小。......