纳米构筑技术相关论文
描述了一种拓展电子束光刻中的临近效应来制备特征尺寸在亚20nm的金属Nanogap的方法.结合图形转移过程(如去胶等),利用临近效应灵......
纳米粒子具有特殊的电学、催化等性质,这些性质通常与其尺寸、形状、组成及表面结构等因素相关。因此,各种纳米结构的制备及其性质......
描述了一种拓展电子束光刻中的临近效应来制备特征尺寸在亚20nm的金属Nanogap的方法.结合图形转移过程(如去胶等),利用临近效应灵活......