纳米硅碳薄膜相关论文
硅基薄膜太阳电池因其成本低、易于大规模生产等优点,近年来得到大规模发展和推广。研究者普遍认为,采用多结叠层结构是提高硅基薄膜......
在等离子体化学气相沉积系统中采用高氢稀释硅烷加乙烯法制备了nc-SiCx:H薄膜。系统研究了C2H4/(C2H4+SiH4)(Xc)气体流量比对nc-SiCx:H薄膜的晶化和其它不龟性能的影响。......
在等离子体化学气相沉积系统(PECVD)中,使用高氢稀释硅烷(SiH4)加乙烯(C2H4)为反应气氛制备了纳米硅碳(nc-SiCx^2H)薄膜,随着(C2H4+SiH4)/H2(Xg)从5%时,由于H蚀刻效应的减弱,薄膜的晶态率从48%下......