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背空结构相关论文

基于MEMS工艺高性能背空结构的磁膜电感

利用MEMS工艺,实现了Si衬底上高性能的背空结构片上磁膜电感的制作。本研究提出了一种新的片上电感制作方法。为了减小电感工作时......

会议

背空结构磁性薄膜高频响应、片上电感

片上射频磁膜微电感的研究

片上射频电感是射频电路中的重要元件,随着射频电路的不断发展,越来越要求片上电感具有小尺寸、高性能的特性。本文提出了基于背硅......

学位

射频电路微电感背空结构高频 YIG铁氧体

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