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高频响应、片上电感相关论文
基于MEMS工艺高性能背空结构的磁膜电感
利用MEMS工艺,实现了Si衬底上高性能的背空结构片上磁膜电感的制作。本研究提出了一种新的片上电感制作方法。为了减小电感工作时......
会议
背空结构
磁性薄膜
高频响应、片上电感
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