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能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染,产生的原因及降低能......
在现代的电网中经常会出现电力谐波,电力谐波是一种能量的污染。其会对通讯设备进行干扰,也会使电机温度过高从而产生故障。因此,电力......
展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素......