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腐蚀停止技术相关论文
Si/SiGe腐蚀停止技术的研究及其在SiGe/Si HBT工艺中的应用
对SiGe/Si腐蚀停止技术进行了大量的实验研究,分析了腐蚀的化学机理,并在一定的腐蚀液浓度和温度下,获得了Si和SiGe的腐蚀速率比大于30的结果。该技术......
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腐蚀停止技术
Si SiGeetching stop semiconductor technology
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