蒸发生长相关硕士博士期刊学术论文

针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法－等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）及溅射／蒸发生长的不同特点，分别采用了两种不同的剥离工艺方案，由此实现......