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蚀刻剂浓度相关论文
Makrofol薄膜蚀刻特性研究
本文研究了Makrofol KG膜的总体蚀刻特性。研究结果表明,体蚀刻速度与蚀刻温度遵守Arr-henius方程V_b=a·e~(-E/KT),其中,体激活能......
期刊
Arrhenius
蚀刻剂浓度
总体蚀刻速度
蚀刻温度
Makrofol
KG
激活能
固体径迹探测器
裂变碎片
孔膜
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