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金刚石薄膜的红外增透性
以 CH3COCH3/H2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石......
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金刚石薄膜
表面晶形
红外增透性
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