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以 CH3COCH3/H2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。
金刚石薄膜的红外增透性
【摘 要】
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以 CH3COCH3/H2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。
【机 构】
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合肥工业大学应用物理系,合肥工业大学应用物理系合肥230009,合肥230009
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1992年2期
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