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二氧化硅原子层沉积反应机理的理论研究
原子层沉积(ALD)是一种在原子水平上精确控制薄膜厚度和组成的纳米制造技术,近年来受到了越来越多的关注。ALD表面化学反应尤其引......
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原子层沉积
快速原子层沉积
二氧化硅
Berry赝旋转
表面赝旋转
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氢键
协同催化
密度泛函理论
Born-Oppenheimer分子动力学
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