角度抛光相关论文
提出了一种改进的角度抛光方法来测量硅片的亚表面损伤.其原理是:经过研磨和化学机械抛光后,起保护作用的陪片靠近胶黏剂的一端形......
材料在加工的过程中会引入亚表面损伤，对材料的使用性能造成很大的影响。就亚表面损伤产生机理以及常用的测量方法进行研究，从而为加......
提出了一种改进的角度抛光方法来测量硅片的亚表面损伤．其原理是：经过研磨和化学机械抛光后，起保护作用的陪片靠近胶黏剂的一端形成一......
针对传统角度抛光法检测的不足，提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶......
通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便......
