调焦调平相关论文
光刻技术中的聚焦控制对曝光质量有直接的影响。曝光过程中，为保证良率，曝光区域需要时刻处于焦深范围内。通过建立数学模型，探讨了光......
调焦调平系统是高分辨率投影光刻机的重要组成部分,为了获得理想的曝光效果必须使用调焦调平系统实时、准确地测量出硅片相对于投......
调焦调平传感器是光刻机关键分系统之一,用于曝光前对硅片高度形貌进行测量。投影光学系统是调焦调平传感器的核心,其成像质量直接......
调焦调平系统主要通过光学三角法的测量原理来实现,线阵电荷耦合器件(CCD)具有高帧频和高分辨率等特点,适用于高速且高精度检测的......
调焦调平测量系统是光刻机对焦控制的核心部件,调焦调平测量系统的数据处理精度影响光刻机的对焦控制性能,计算速度影响光刻机产能......
针对光刻机调焦调平传感器的高实时性数据采集的设计需求,设计了一种多通道同步采集的光电探测系统。该系统使用FPGA作为数据处理......
针对投影光刻的特点,研究了一种基于扫描反射镜调制和三角测量原理的调焦调平系统.该系统遵循向甫鲁（SC）成像条件,并通过检测投影光......
随着半导体制造步入1xnm技术节点时代,光刻机中的对焦控制精度需要达到几十纳米。在纳米精度范围内,硅片上的集成电路(IC)工艺显著......
本文阐述了PSD技术现状以及基于PSD的光刻机调焦调平系统的原理。建立了该系统的硬件控制模型，最后总结了PSD用在光刻机调焦调平系......
信息产业已经成为我国国民经济发展的支柱产业,集成电路是信息产业的基石,集成电路的发展离不开设计、工艺和装备技术的支持,而投......
成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础。为此建立了硅片调焦调平测量系统单个测量点的......
