负衬底偏压相关论文
本文对热灯丝 CVD沉积金刚石膜的核化过程进行了分析 ,从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量 .
In this paper, the nucle......
利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化......
该文首次利用实验和理论相结合的方法较系统和深入地研究了负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积金刚石薄膜的核化过程.第一次研究了......
对利用热灯丝CVD沉积金刚石膜时负衬底偏压强金刚石的核化过程进行了分析。结合等离子体和碰撞等有关理论,从理论上初步地研究了负衬底......
本文对热灯丝CVD沉积金刚石膜的核化过程进行了分析,从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量。......
从理论上研究了负衬底偏压增强子轰击对金刚石的影响,并用理论解释了一些实验现象。...
利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负......
利用扫描电子显微镜镜研究了热灯丝CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程,给出了实验结果。着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机......
利用扫描电子显微镜和 Raman光谱分析了激光法制备的金刚石膜 ,给出了实验结果 .着重分析了制备金刚石膜的参数对其质量的影响 .......