超分辨光刻相关论文
传统光学一直受限于二分之一入射波长的光学衍射极限，这极大地限制了光刻系统和光学成像的分辨率，成为了光存储、光学显微、投影光刻......
为满足电子信息产业集成化、微型化的发展需求,高精度微纳米结构制造技术受到了各领域科学研究人员的广泛关注。人们在追求高分辨......
光刻是制备集成电路及其他微纳器件过程中最关键的环节。而传统光刻技术受光学衍射的影响,始终无法突破?/2的衍射极限,这严重限制......
随着集成电路和集成光路的进一步发展,光刻技术特别是低成本、简单、高效的纳米尺度的光刻技术的研究越显重要。由于光学衍射极限......
传统光学成像始终受限于衍射极限，导致光学成像分辨率只有入射光波长的二分之一。衍射极限的本质在于携带物体精细结构的高频信息具......
