超纯氨相关论文
阐述9N超纯氨气的纯化器设计,应用于光电子领域及MOCVD设备,包括纯化器工艺设计、纯化器外观设计、纯化器仪控设计,采用两塔吸附方......
叙述了用热分解露点法测定超纯氨中痕量水的研究,该法与光腔衰荡光谱法和可调谐激光二极管吸收光谱法相比,具有灵敏、准确、稳定、......
电子级超纯氨是半导体产业上游关键配套原材料,其痕量杂质含量直接影响材料的光学及电学性能乃至器件的使用寿命,是半导体产业链发......
随着LED等行业的飞速发展,作为重要原材料氨气的需求量越来越大,传统的供气方式已经不能满足大规模的现场需求,ISO槽罐车是目前为LED......
摘要:超纯氨现广泛应用于LED、TFT、集成电路等领域。在近年来高速增长的LED产业中,超纯氨作为其上游产业中LED蓝绿光外延芯片制造最......
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研究了一种用分光光度计检测超纯氨原料无水工业液氨中油含量的测定方法,包括样品的制备,检测原理,检测步骤与检测结果的合理判断;......
随着LED等行业的飞速发展,对作为重要原材料氨气的需求量越来越大,对其纯度要求也越来越高,其中铁含量是评价超纯氨质量的一个重要......