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选区外延技术相关论文
基于ART技术的硅Ⅲ-Ⅴ族材料及器件研究
随着集成电路技术发展到10纳米技术节点以下,硅集成电路技术在速度、功耗、集成度、可靠性等方面受到一系列基本物理问题和工艺技术......
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