金属绝缘体半导体结构相关论文
用Si(111)上MOCVD生长的晶态AlN制备出性能良好的Al/AlN/Si(111)MIS结构,用C-V技术首次系统研究了Al/AlN/Si MIS结构的电学性质.用......
用Si(lll)上MOCVD生长的晶态AIN制备出性能良好的Al/AlN/Si(lll)MIS结构,用C-V技术首次系统研究了Al/AlN/Si MIS结构的电学性质。用Al/AlN/SiM......