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钠沾污相关论文

SiO2中Na及Si中B的SIMS分析

ＳＩＭＳ对二氧化硅中钠离子有相当高的检测灵敏度，但其定量分析较为困难。在二氧化硅的ＳＩＭＳ图谱中，由一二氧化硅中的Ｎａ离子的计数和与“ＳｉＯ２”计数和之......

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二氧化硅钠沾污 MOS电容定标 SIMS 硅硼杂质

O2＋H2O等离子下游式的无钠沾污去胶工艺

通过对偏置应力处理后的ＭＯＳ二极管平带电压漂移测量及去胶后的ＳｉＯ２层中钠数量的原子吸收光谱测量，我们对Ｏ２＋Ｈ２Ｏ等离子下游式去胶对光刻胶钠沾污的......

期刊

半导体器件钠沾污去胶工艺等离子下游式

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