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镍钯硅三元化合物相关论文
Ni/Pd/Si固相反应及NiSi热稳定性增强研究
研究了Ni/Pd双层薄膜在硅衬底上的硅化物形成过程。结果表明,加入Pd层后,退火形成Ni1-xPdxSi固熔体,该固熔体比NiSi的热稳定性好,使得Ni......
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