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阴极弧等离子源相关论文
阴极弧等离子源薄膜制备
该工作利用具有磁过滤装置的阴极弧等离子体源,通过反庆气相沉积,在Si和碳钢基底上制备NbN、TiN、HfN等过渡旋金属氮化物膜,考察了......
学位
阴极弧等离子源
薄膜制备
阴极弧等离子体源
NbN
TiN
HfN
碳钢
均匀腐蚀
点蚀
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