零差激光干涉仪相关论文
由于光学元件自身性能固有的不完善,特别是偏振分光棱镜(PBS)引入的非正交误差,导致零差激光干涉测量系统仍存在几个nm 的非线性误......
研制了一种实用性强的零差激光干涉仪,采用立方角锥棱镜代替平面反射镜,克服了传统激光干涉仪光路调节困难的问题,并将其应用到大......
介绍了利用正交的零差激光干涉仪测量安装于振动台面被测靶体的位移,实时计算出运动速度和加速度,从而实现对位移达1m的超低频振动传......
介绍了新型零差激光干涉仪的测量原理,实验和理论分析了干涉条纹宽度、激光光强、散斑效应对该激光干涉仪测量误差的影响。结果表明......
针对零差正交激光干涉仪在直线运动测量中的误差来源及其影响,说明了零差激光干涉仪两路正交干涉信号中零漂、幅度误差以及相位误差......
针对传统零差激光测振光路调试困难,提出一种简单的零差测振光学系统。采用二象限(或四象限)探测器作为该系统的探测器,由于两个象......