利用准分子激光在 p型硅薄片上淀积了多层铁电薄膜 BIT/ PZT/ BIT、PZT/ BIT和 BIT。讨论了多层铁电薄膜界面内建电压 ,其中 Au/ B......

利用准分子激光在p型硅薄片上淀积了多层铁电薄膜BIT/PZT/BIT、PZT/BIT和BIT.讨论了多层铁电薄膜界面内建电压,其中Au/BIT/PZT/TBI......