非平衡磁控溅射系统相关论文
介绍了非平衡磁控溅射系统的原理，试验性能情况，并简要介绍了该系统的一些应用。...
在非平衡磁控溅射沉积非磁性金属薄膜过程中,离子/原子到达比、沉积速率等参数是影响薄膜结构和性能的重要因素.根据非平衡磁控溅......
采用激励电流可以调整的电磁线圈来激发非平衡磁场,调整约束磁场和放电空间等离子体状态.实验结果表明调整非平衡磁场显著影响系统......
