本文研究了在聚酰亚胺柔性衬底上采用等离子体增强化学气相沉积法制备非晶硅基薄膜太阳电池。在稳定各层材料沉积工艺的条件下，仅调......

本论文采用双离子束溅射沉积方法制备了Si-SiOx、SiOx：C、SiOxNy复合薄膜，TEM及XRD的测试表明三种薄膜均为非晶结构，通过FTIR和XPS进......

随着超大规模集成电路技术的不断发展，半导体微电子器件的特征尺寸日益逼近其物理极限，达到纳米量级。硅是微电子产业的主体材料，所以......

采用PECVD方法分别沉积了SiO x∶H和SiOxNy∶H薄膜,测量了其荧光特性.在SiOx∶H薄膜中观察到300～570nm强荧光辐射带,并发现其中心位......

本文研究了采用锁定放大相干检测技术的等离子体光发射谱检测系统。分析了检测结果和刻蚀机理。......