非晶碳氮薄膜相关论文
非晶态碳氮(a-CNx)薄膜具有各种优良的性质,如高硬度、高弹性模量、极好的表面抗磨损力、可调光学带隙和优良的导电能力等。a-CNx......
非晶碳氮薄膜是一种新型功能材料，具有高硬度，良好的光学性能，较低的摩擦系数和稳定的化学性能等其他的优异性能，在诸多领域具有广阔的......
在不同实验条件下使用射频磁控溅射方法合成了非晶CN膜,并对其进行高温退火,使用Raman光谱、XPS光谱、FTIR光谱、AFM、CSR-01划痕......
采用空心阴极等离子体化学气相沉积法，在甲烷一氨气、氢气混合气体体系下，制备出了非晶碳氮薄膜。利用原子力显微镜（AFM）及X射线光电子......
