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(110)衬底相关论文
体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法
从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分......
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(110)衬底
凸角补偿
拓扑结构
通用方法
(110) substrate
convex corner compensation
topological
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